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本发明公开了一种基于量子隧道效应的新型压力传感器，参考样品固定在感压膜片的中心位置，在沿感压膜片中轴线的方向上，安装有探针，探针用于检测参考样品和针尖之间的隧道电流，由信号控制软件采集隧道电流信号。当有压力作用在感压膜片上时，参考样品产生微...
该专利属于中国计量大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国计量大学授权不得商用。

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