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本发明公开了一种可以实现微流速敏感的机械灵敏度和测量范围可调的硅微流速计的三层结构方案。具体为作为信号接收层的金属立柱，作为信号转化层的硅微机械结构，以及作为信号输出层的玻璃绝缘层及其信号引线。金属立柱通过紫外线固化胶粘合在硅微机械结构上表...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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