下载一种显微测量系统及显微测量方法的技术资料

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本发明实施例提供了一种显微测量系统及显微测量方法,该显微测量系统包括内部运动控制模块、显微成像模块和显示处理模块;内部运动控制模块用于控制待测工件运动,并向显示处理模块传输测工件的位置信息;显微成像模块包括至少两个显微成像单元和显微成像光源...
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