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本实用新型提供一种铝溅射靶材用熔铝电阻炉装置,包括炉体和炉盖,炉盖位于炉体上端,炉盖包括分别通过固定装置固定在炉体上端的半圆形的左滑盖和半圆形的右滑盖,左滑盖和右滑盖均等拼合形成圆柱体,固定装置包括与炉盖连接的连接板、与连接板一体成型的旋转...该专利属于中诺新材(北京)科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中诺新材(北京)科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种铝溅射靶材用熔铝电阻炉装置,包括炉体和炉盖,炉盖位于炉体上端,炉盖包括分别通过固定装置固定在炉体上端的半圆形的左滑盖和半圆形的右滑盖,左滑盖和右滑盖均等拼合形成圆柱体,固定装置包括与炉盖连接的连接板、与连接板一体成型的旋转...