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本实用新型公开了一种芯片封装用超高洁净度净化车间，包括车间本体、侧室、条形箱、风机、吸附液箱、操作室、导管、支管、圆罐、侧滑托架、活性炭过滤板、侧板、齿轮、齿条块、棉滤芯和电机。本实用新型设计合理，通过循环流动的气流依次经过浸湿有酸碱中和液...
该专利属于苏州天惠达工程科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州天惠达工程科技有限公司授权不得商用。

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