下载一种具有防护性的单晶炉拆装热场装置的技术资料

文档序号:25676482

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本实用新型公开了一种具有防护性的单晶炉拆装热场装置,包括底座盒、支撑板和坩埚,所述底座盒的底部螺栓安装有电动机,所述电机轴的边侧活动设置有棘爪,且电机轴的外侧套设有第一套筒,所述支撑板固定在第一套筒外侧的底座盒内,且支撑板的上方设置有第二套...
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