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微小角位移的光波导测量装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:2567068
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一种微小角位移的光波导测量装置,由光学旋转平台(1)、机械振子结构(2)、和光电接受部分(3)三部分组成,机械振子结构(2)固定在光学旋转平台(1)上,光学旋转平台(1)支撑整个机械振子结构(2),其特征在于,光电接受部分(3)包括:激光器...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。
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