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本发明提供一种漏氧检测方法，该方法包括首先提供一检测晶片，该检测晶片包括一基板，以及一具有一形成于基板上的第一颜色的金属薄膜；接下去将该检测晶片用一装载室装入一反应室中；随后取出检测晶片；最后观察检测晶片的表面，以获得一第二颜色，并且当第二...
该专利属于力晶半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过力晶半导体股份有限公司授权不得商用。

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