下载一种单晶元件制备系统的技术资料

文档序号:25660515

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本申请公开了一种单晶元件制备系统,包括:密闭壳体,还包括:电磁加热装置,设置于所述密闭壳体外部,用于提供电磁加热的交变磁场;加热工装,设置于所述密闭壳体内部,内固定有用于通过高温退火生成所述单晶元件的多晶元件;所述加热工装感应所述交变磁场产...
该专利属于合肥本源量子计算科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥本源量子计算科技有限责任公司授权不得商用。

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