下载探测和报告气密包装中泄漏大小的仪器和方法的技术资料

文档序号:2565201

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一种用于探测气密包装(100)中泄漏的仪器(10)。该仪器(10)包括空心针(20);质量流量传感器(50),其与由空心针(20)限定的内腔(29)密封地流体连通;和真空泵(40)。真空泵(40)和由空心针(20)限定的内腔(29)流体连通...
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