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激光微镜阵列中的耦合和同步镜元件制造技术
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文档序号:25645464
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一些实施例披露了被配置为使LiDAR系统中重定向光的微机电系统装置,包括布置在线性阵列内的支撑框架和至少两个镜元件,所述至少两个镜元件包括第一镜元件和第二镜元件。所述至少两个镜元件的每个镜元件可在旋转轴上旋转,所述旋转轴与由所述至少两个镜元...
该专利属于北京航迹科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京航迹科技有限公司授权不得商用。
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