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用于检测激光射束的焦点位置的方法和设备技术
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下载用于检测激光射束的焦点位置的方法和设备的技术资料
文档序号:25645350
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本发明涉及用于检测激光射束的焦点位置、尤其激光加工头(10)中的加工激光射束的焦点位置的方法和设备,所述设备具有:布置在朝向焦点(20)会聚的激光射束(12)中的光学元件(26),用于使至少一个背射(30)从激光射束路径中耦合输出;和传感器...
该专利属于普雷茨特两合公司所有,仅供学习研究参考,未经过普雷茨特两合公司授权不得商用。
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