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本发明提供了一种压电式麦克风及其制备工艺，压电式麦克风包括具有背腔的基底和设于所述基底上的压电振膜，所述压电振膜包括固定于所述基底上的振膜层以及固定于所述振膜层上的压电单元，所述压电式麦克风还包括罩盖在所述振膜层上方的壳体，所述壳体和所述振...
该专利属于瑞声科技(南京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞声科技(南京)有限公司授权不得商用。

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