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本发明提供了一种用于液体检测的压电谐振微流道及制备方法，其特征在于，包括用于固定电极的有源压电层，有源压电层固定于硅衬底上，电极用于驱动谐振。在有源压电层上方有结构压电层，在两压电层间有利用牺牲层工艺形成空腔，有源压电层、空腔和结构压电层组...
该专利属于上海科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海科技大学授权不得商用。

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