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利用整体式端口与膜片构造的基于厚膜技术的超高压传感器制造技术
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下载利用整体式端口与膜片构造的基于厚膜技术的超高压传感器的技术资料
文档序号:2563633
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本发明提供一种用于构造压力传感器的方法和装置。可提供均质金属件。将压力端口和加工膜片集成到该均质金属件上,其中加工膜片连接到该压力端口上。可利用先进厚膜(ATF)技术来构造该加工膜片,从而提供一种基于压力端口和加工膜片及其相关的压力传感器构...
该专利属于霍尼韦尔国际公司所有,仅供学习研究参考,未经过霍尼韦尔国际公司授权不得商用。
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