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本发明提供一种检测设备及检测方法，其中，检测设备，包括：第一探测光源，用向待测物第一探测区发射第一探测光；探测装置，用于接收所述第一探测区返回的第一探测光；离焦测量系统，用于测量待测物相对于检测系统的离焦度，包括：第二探测光源，用于向待测物...
该专利属于深圳中科飞测科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳中科飞测科技有限公司授权不得商用。

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