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本发明提供了一种MEMS压力传感器及其制备方法，所述压力传感器包括：器件结构，包括相对设置的第一表面和第二表面，所述器件结构的第一表面上设置有岛梁膜及至少部分围设所述岛梁膜的固支结构；支撑结构，靠近或贴近所述器件结构的第二表面，所述支撑结构...
该专利属于苏州纳芯微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州纳芯微电子股份有限公司授权不得商用。

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