下载薄膜太阳能电池钢化炉及钢化方法的技术资料

文档序号:25628422

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本申请公开了一种薄膜太阳能电池钢化炉,该薄膜太阳能电池钢化炉,包括:样片传输机构以及沿样片传输方向依次通过阀门连通的上片区、第一缓冲室、第一加热室、第二加热室、冷却室和下片区;以及,用于将第一缓冲室、第一加热室、第二加热室和冷却室抽成真空的...
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