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本发明提供一种MEMS触觉传感器及其制作方法，该MEMS触觉传感器包括衬底及位于衬底上的发光二极管、光电检测二极管及悬臂梁波导，其中，悬臂梁波导位于发光二极管和光电检测二极管中间，用于将发光二极管发出的光线耦合到光电检测二极管中进行检测，外...
该专利属于上海南麟集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海南麟集成电路有限公司授权不得商用。

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