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微压耐腐蚀压力传感器制造技术
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文档序号:2561647
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一种微压耐腐蚀压力传感器,包括一个带有引线、参考压腔的金属壳体,其特征在于所述金属壳体内粘接硅微压力传感器芯片,芯片采用金丝与引线键合连接,金属壳体、金铂银铜合金膜片以及压焊环采用激光焊接,在金铂银铜合金膜片与硅压力传感器芯片之间充满硅油,...
该专利属于天水华天微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天水华天微电子有限公司授权不得商用。
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