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提供超表面元件、将这种超表面元件与光源和/或检测器结合的集成系统、以及这种光学装置和集成系统的制造和操作方法。还提供用于将透射型超表面与其他半导体器件或附加的超表面元件集成的系统和方法，尤其是将这种超表面与基板、照明源和传感器集成的系统和方...
该专利属于梅特兰兹股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过梅特兰兹股份有限公司授权不得商用。

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