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电磁驱动的振片式力转换器制造技术
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下载电磁驱动的振片式力转换器的技术资料
文档序号:2560748
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一种振片式力转换器,它可在如微型加速计等硅微型机械仪表中实现,包括带有纵轴的振片,和与振片电连接并使振片以纵轴方向施加的外力所决定的共振频率振荡的驱动电路;该电路向振片提供电流,振片或其上的导电区域沿包含一与纵轴平等的轴向元件的通路导通电流...
该专利属于森德斯特兰德数据控制公司所有,仅供学习研究参考,未经过森德斯特兰德数据控制公司授权不得商用。
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