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一种低量程压力传感器包括由脆性材料制成的底板和沿周边密封安装在底板上的膜片板。压力引起膜片向底板挠曲，此挠曲由应变片感知以提供压力指示。该膜片对着底板的一侧有许多支撑柱，以便当膜片因高过压向底板挠曲时支撑膜片阻止其移动以避免膜片损坏。支撑柱...
该专利属于罗斯蒙德公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗斯蒙德公司授权不得商用。

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