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静电电容式传感器制造技术
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文档序号:2560343
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一种静电电容式传感器,具备被相对配置为相互不接触,且使两者的间隙相应于被检测量的变化而变化的第1电极(10a、20b、10c、30)和第2电极(20a、20b、20c、20d),以及根据在这些第1和第2电极间形成的静电电容来计算上述被检测量...
该专利属于株式会社山武所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社山武授权不得商用。
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