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下载起电真空板的技术资料

文档序号:2559903

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真空板包括不连续或多孔的填充材料(5),该填充材料(5)被封闭在至少两个隔板(6)之间,该隔板(6)沿着边缘相互接合,一个或多个电极(7,7’)气密设在隔板(6)之间,该电极(7,7’)适合于供电给至少一个设在真空板内的器件(1,2,3,3...
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