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一种分流式超高／极高真空规校准装置及方法，采用无油双涡轮分子泵串联抽气机组与非蒸散型吸气剂泵组合方案获得１０↑［－１０］Ｐａ极高真空；以惰性气体作为校准气体，将气体微流量计流出的惰性气体引入到一个分流室中，利用分流室上两个分子流流导相差１０...该专利属于中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所授权不得商用。