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本实用新型提供了一种VCSEL芯片,通过在所述衬底表面依次堆叠的N型DBR层、N型波导限制层、量子阱、P型波导限制层、P型氧化界面截止层及P型DBR层;在所述N型DBR层、N型波导限制层、P型波导限制层及P型DBR层的至少一层中设有电流扩展...该专利属于厦门乾照半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过厦门乾照半导体科技有限公司授权不得商用。
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