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本实用新型公开了一种直写式曝光机用台面清洁结构，包括曝光机本体、风机管道和电动机，所述曝光机本体的内侧安装有玻璃台面，且玻璃台面的上方设置有清洁辊，所述清洁辊的外侧连接有防护块，所述清洁辊的表面预留有吸尘孔，且清洁辊的两端通过进气管和连接管...
该专利属于上海探跃半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海探跃半导体设备有限公司授权不得商用。

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