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双材料微梁光学读出温度传感器，其特征是设置双材料微梁单元于感温头内，光源以其投射光束直接投射在微梁反光板上；对应于来自微梁单元中微梁反光板上的反射光束，设置反射光束光学接收器，光学接收器以微梁热变形引起的反射光偏转位置为检测信号。本实用新型...
该专利属于中国科学技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学技术大学授权不得商用。

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