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一种等离子体化学气相沉积法金刚石涂层的温度测量装置，属于金刚石涂层技术领域。包括：阴极部分、真空室、真空泵系统、压力测控装置、电源、阴极杆、阴极体、阳极、直流电弧弧柱、制品架、磁场线圈。在拉长的直流电弧弧柱（９）的周围装置有一金属圆环（１４...
该专利属于北京科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京科技大学授权不得商用。

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