下载具有V型槽绒面结构的制绒片及其制备方法和应用的技术资料

文档序号:25552643

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本发明提供一种具有V型槽绒面结构的制绒片及其制备方法和应用,本发明的制备方法包括如下步骤:(1)、在硅片表面形成平行排布的条状浅槽;(2)将步骤(1)中的硅片置于酸性制绒液中进行制绒;(3)、对步骤(2)中制绒后的硅片进行清洗。所述的方法制...
该专利属于中国科学院物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。

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