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增强型氮化镓基高电子迁移率晶体管及其制备方法技术
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文档序号:25552487
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一种增强型氮化镓基高电子迁移率晶体管及其制备方法,所述增强型氮化镓基高电子迁移率晶体管的制备方法,包括以下步骤:提供衬底,所述衬底上表面设置有堆叠结构,所述堆叠结构包括沟道层和势垒层;在所述堆叠结构的上表面形成源极、漏极和二维电子气消耗装置...
该专利属于上海新傲科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海新傲科技股份有限公司授权不得商用。
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