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一种热式MEMS气体传感器的气流标定方法技术
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文档序号:25549368
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本发明公开了一种热式MEMS气体传感器的气流标定方法,涉及传感器技术领域,该热式MEMS气体传感器中的测温电路中的微处理器连接并控制恒温差驱动电路的通断,微处理器控制开启恒温差驱动电路并在导通达到第一预定时长后获取测温电桥的第一输出电压,微...
该专利属于无锡职业技术学院所有,仅供学习研究参考,未经过无锡职业技术学院授权不得商用。
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