下载一种非晶InGaN/Si异质结太阳电池的装置及其制备方法的技术资料

文档序号:25547230

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本发明公开了一种非晶InGaN/Si异质结太阳电池的装置及其制备方法,该装置中的脉冲激光器发出的高能激光束被分光镜分为两束,分别经过两个聚焦透镜从窗口进入沉积室照射到In/GaN双靶材上,靶材表面被照射区域瞬间被烧蚀产生等离子体羽辉,通过微...
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