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一种非晶InGaN/Si异质结太阳电池的装置及其制备方法制造方法及图纸
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下载一种非晶InGaN/Si异质结太阳电池的装置及其制备方法的技术资料
文档序号:25547230
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本发明公开了一种非晶InGaN/Si异质结太阳电池的装置及其制备方法,该装置中的脉冲激光器发出的高能激光束被分光镜分为两束,分别经过两个聚焦透镜从窗口进入沉积室照射到In/GaN双靶材上,靶材表面被照射区域瞬间被烧蚀产生等离子体羽辉,通过微...
该专利属于广西大学所有,仅供学习研究参考,未经过广西大学授权不得商用。
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