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加工系统包括：控制部，生成与测定加工对象物时的测定部的位置相关的位置信息，并输出所生成的位置信息与表示生成位置信息的时期的生成时期信号；获取部，获取所输出的位置信息与生成时期信号；获取间隔算出部，算出表示与获取部所获取的多个生成时期信号相关...
该专利属于株式会社尼康;DMG森精机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康;DMG森精机株式会社授权不得商用。

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