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一种针对各种应用的在芯片级上高效地且经济地生产的电化学传感器装置被公开。在一些方面，所述装置是在晶圆技术上或者使用晶圆技术制作的，由此传感器室是通过所述晶圆创建的，并且气体端口允许传感器的工作电极检测某些气体。通过使用晶圆技术，大规模生产是...
该专利属于英赛特系统股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过英赛特系统股份有限公司授权不得商用。

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