下载压印模板及其制备方法的技术资料

文档序号:25520233

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本发明实施例提供了一种压印模板及其制备方法。压印模板的制备方法包括:在基底上依次形成牺牲层和压印胶层;将由母模板翻制出来的软模板压印在所述压印胶层上,在所述压印胶层上形成位于图案区的压印图案和位于段差区的段差图案;去除所述段差区的压印胶层和...
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