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一种高灵敏度的声表面波绝压压力传感器，包括感压膜片、声表面波谐振器、中间层、压力参考腔和盖板；中间层、感压膜片和盖板通过直接键合或间接键合方式形成整体结构，并在所述整体结构上形成压力参考腔；声表面波谐振器设置在感压膜片的内表面，位于压力参考...该专利属于北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司授权不得商用。