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本发明公开了一种环形可阵列式四质量耦合六轴微惯性传感器及其加工方法，传感器由上至下依次包括器件结构层、金属引线层及玻璃衬底层，器件结构层通过锚点与玻璃衬底层连接，金属引线层位于器件结构层与玻璃衬底层之间，将部分器件结构层与玻璃衬底层连接的锚...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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