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本发明公开了一种磁悬浮轴承电感式位移传感器，电感式位移传感器包括第一探头对、第二探头对和第三探头对，第一探头对包括沿第一方向设置的第一探头组和第二探头组，第二探头对包括沿第二方向设置的第三探头组和第四探头组，第三探头对包括第五探头组、第六探...
该专利属于山东天瑞重工有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东天瑞重工有限公司授权不得商用。

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