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双光束干涉仪制造技术
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文档序号:2551609
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一种双光束干涉仪包括:两立方角镜相对于且共用一或两镜而形成一整体的两镜面组,并被驱动而在包括两相对棱边的平面或包括由两公共镜面所形成的棱边的平面上作往复转动,一分束片被设在两立方角镜的前面以反射部分入射光并导向两立方角镜的一个,同时,透射入...
该专利属于岛津制作所所有,仅供学习研究参考,未经过岛津制作所授权不得商用。
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