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确定目标表面轮廓的方法及装置制造方法及图纸
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下载确定目标表面轮廓的方法及装置的技术资料
文档序号:2551229
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一种确定目标表面颜色和轮廓的方法,包含有下述步骤:用一个入射光束扫描所述的目标表面,所述的入射光束包含多组分的波长;将所述的反射光束分裂形成一个或者多个不同波长的分离子光束;将所述的一个或者多个子光束照射到一个传感器阵列上确定它们的相对位置...
该专利属于加拿大国家研究委员会所有,仅供学习研究参考,未经过加拿大国家研究委员会授权不得商用。
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