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测定激光束光斑特性的方法和设备技术
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文档序号:2551210
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一种测定激光束光斑(20)尺寸的方法,包括:使激光束(18)沿扫过参考刀口(30)的路径扫描,该参考刀口有一光电检测器(40)位于其后;和测量光电检测器(40)在扫描期间的输出信号,该输出信号与扫描期间入射光电检测器(40)的激光束光斑(2...
该专利属于维思克斯公司所有,仅供学习研究参考,未经过维思克斯公司授权不得商用。
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