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一种大口径波面干涉测量仪，它由入射平板（１）、反射平板（２、４）、出射平板（３）和反射平板（５、６）构成，其中平板（１、３）为透射平板，反射平板（２、４、６）为整块，而反射平板（５）是由一上半平板（５１）和一下半平板（５２）构成的，上述平板...该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。
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一种大口径波面干涉测量仪，它由入射平板（１）、反射平板（２、４）、出射平板（３）和反射平板（５、６）构成，其中平板（１、３）为透射平板，反射平板（２、４、６）为整块，而反射平板（５）是由一上半平板（５１）和一下半平板（５２）构成的，上述平板...