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本发明涉及一种激光器石墨托盘的清洗方法及清洗装置，属于半导体清洗技术领域，主要根据现有托盘处理技术的不足，利用烤盘炉针对激光器石墨托盘进行处理。烤盘炉分压、烤盘炉升温、通混合气、抽真空、保持温度、回至常压、取出石墨盘。通过控制处理压力时间和...
该专利属于潍坊华光光电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过潍坊华光光电子有限公司授权不得商用。

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