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利用氧化物异质结材料制作的快响应宽频段激光探测器制造技术
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下载利用氧化物异质结材料制作的快响应宽频段激光探测器的技术资料
文档序号:2550653
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本发明涉及利用氧化物异质结材料制作的快响应宽频段激光探测器,包括:一掺铌钛酸锶衬底上,和在其上外延生长的掺杂锰酸镧薄膜层,形成掺铌钛酸锶-掺杂锰酸镧氧化物异质结;或者在掺铌钛酸锶单晶衬底上外延生长一绝缘层,掺杂锰酸镧薄膜外延生长在绝缘层上,...
该专利属于中国科学院物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。
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