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一种激光光束质量Ｍ↑［２］因子实时检测仪，构成包括同光路的依次的聚焦透镜、光栅组、光路调整器、ＣＣＤ，该ＣＣＤ的输出端通过信号线与计算机相连，所述的聚焦透镜的焦距为ｆ，直径为Ｄ，所述的光栅组是由两块以正交方式紧贴放置的光栅组成的紧凑的光栅分...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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