温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型一种平面靶材区分加热装置，机箱(1)的顶板上均匀设置有多个冷却风通孔(1.1)，所述机箱(1)内设置的内隔板(2)将机箱(1)内的腔体分割为相互独立的上腔室和下腔室，且上腔室内设置都有多个分区挡板(3)将上腔室分隔为相互独立的多个...该专利属于梭莱镀膜工业(江阴)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过梭莱镀膜工业(江阴)有限公司授权不得商用。
温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型一种平面靶材区分加热装置，机箱(1)的顶板上均匀设置有多个冷却风通孔(1.1)，所述机箱(1)内设置的内隔板(2)将机箱(1)内的腔体分割为相互独立的上腔室和下腔室，且上腔室内设置都有多个分区挡板(3)将上腔室分隔为相互独立的多个...