下载一种体声波谐振器及滤波器的技术资料

文档序号:25502443

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本实用新型公开了一种体声波谐振器,从下至上依次分布外延衬底、键合层、支撑层、底电极、压电薄膜、顶电极与介质层;压电薄膜的上表面还设有与顶电极位置不重合的电容下电极,介质层包覆于电容下电极的外表面,且顶电极的上表面显露于介质层;在介质层的上表...
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