下载用于样品的平面测量的测量头的技术资料

文档序号:2550082

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本发明的测量头把光从外部的源,通过至少一根光纤,传送到测量头中至少一个相应的平面反射镜,光通过反射镜被反射并被至少一个准直透镜准直,入射到样品上,在一个实施例中,是以基本上45度角入射。得到的光路是折叠一次的,从而能有足够的实际空间来使光改...
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